電子超純水-超純水設(shè)備-偉志水處理 張15312197603
電子工業(yè)用超純水概述；半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程：
1.預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過(guò)濾器－用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
2.預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過(guò)濾器－用水對(duì)象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
3.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過(guò)濾器－用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(工藝)
4.預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－精密過(guò)濾器（0.2或0.5μm）－用水對(duì)象（≥17MΩ.CM） (工藝)
5.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過(guò)濾器－用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(工藝)
超純水設(shè)備的應(yīng)用：
電子工業(yè)生產(chǎn)用水，如單晶硅超純水設(shè)備、半導(dǎo)體純水處理設(shè)備、集成電路塊用水設(shè)備、IC芯片封裝用水設(shè)備、顯象管用水設(shè)備、玻殼超純水處理
LCD液晶清洗用水設(shè)備、光學(xué)水處理，光學(xué)玻璃清洗用水設(shè)備、光電超純水設(shè)備
熱電廠用水、冶金工業(yè)用水、化工純水設(shè)備、輕工工程用水、汽車制造清洗用水
制藥純化水、醫(yī)療衛(wèi)生等制造工業(yè)用純水。
三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái)?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：
1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對(duì)要長(zhǎng)，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對(duì)環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水***經(jīng)濟(jì)，***環(huán)保用來(lái)制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對(duì)以上兩種方式過(guò)于昂貴。